公司生產(chǎn)的硅鋁靶材采用先進(jìn)的熱等靜壓工藝和熱噴涂工藝生產(chǎn)，產(chǎn)品包括矩形靶、圓弧靶和管靶等類(lèi)型，具有成分比例范圍寬（鋁含量為10at%~90at%）、純度和密度高、晶粒細(xì)小均勻、使用壽命長(zhǎng)等優(yōu)點(diǎn)。硅鋁靶材典型的成分比例有90:10wt%、70:30wt%等，也可按照客戶要求定制特殊成分和規(guī)格靶材。
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硅鋁靶 Silicon-aluminum target |
性能 Product performance |
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化學(xué)成分/at% Composition |
Si90Al10 |
Si70Al30 |
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純度/% Purity |
99.8 |
99.8 |
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密度/g/cm3 Density |
≥2.31 |
≥2.41 |
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晶粒度/μm Grain size |
≤100 |
≤100 |
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金屬雜質(zhì)總和/ppm Total content of metallic impurities |
≤2000 |
≤2000 |
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規(guī)格尺寸/mm Size |
平面靶 Planar target |
熱等靜壓 Hot isostatic pressing ≤1000×250 |
熱等靜壓 Hot isostatic pressing ≤1000×250 |
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旋轉(zhuǎn)靶 Rotating target |
熱噴涂成形 thermal spraying 長(zhǎng)度Length≤4000 厚度Thickness≤15 |
熱噴涂成形 thermal spraying 長(zhǎng)度Length≤4000 厚度Thickness≤15 |
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SiAl (90:10 wt%)
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成分(elements) |
硅(Si) |
鋁（Al） |
鐵（Fe） |
銅(Cu) |
錳（Mn) |
碳(C) |
鈣（Ca） |
氧(O) |
氮(N) |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
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測(cè) 試 值（wt%) （Test values） |
90.19 |
9.66 |
≤0.074 |
0.002 |
0.002 |
0.04 |
0.002 |
≤0.04 |
0.04 |
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密度（g/cm3）（Density) |
2.36 |
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SiAl (70:30 wt%)
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成分(elements) |
硅(Si) |
鋁（Al） |
鐵（Fe） |
銅(Cu) |
錳（Mn) |
碳(C) |
鈣（Ca） |
氧(O) |
氮(N) |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
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測(cè) 試 值（wt%) （Test values） |
70.81 |
28.93 |
≤0.071 |
0.002 |
0.002 |
0.04 |
0.002 |
≤0.05 |
0.04 |
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密度（g/cm3）（Density) |
2.42 |
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公司生產(chǎn)的典型硅鋁系列合金靶材包括：
Si10% Al90%; Si20% Al80%; Si30% Al70%;
Si33%Al67%; Si50%Al50%; Si70% Al30%;
Si80% Al20%; Si90% Al10%; Si95% Al5%;
硅鋁合金靶材合金成分范圍從 Si 含量 5%到 95%任意配比都可生產(chǎn)。可確保靶材純度>99.9%,相對(duì)密度>99%，硅相尺寸<100 微米，品質(zhì)可靠，配比和規(guī)格可根據(jù)您的要求定制。
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