鈦酸鍶（SrTiO3）單晶基片是當(dāng)前應(yīng)用最廣的優(yōu)秀高溫超導(dǎo)單晶基片之一。它與YBaCuO等高溫超導(dǎo)材料的晶格匹配好，無孿晶結(jié)構(gòu)，物理、機(jī)械性能優(yōu)良。使用多種制膜技術(shù)（如磁濺射，脈沖激光沉積，激光分子束外延等）制作的多種高溫超導(dǎo)薄膜（Y-系，Bi－系，La-系等）均可得到 TCO≥90°K, JCO≥106A/cm2等指標(biāo)。SrTiO3也是高溫超導(dǎo)結(jié)技術(shù)（使用雙晶基片或臺(tái)階狀基片）及基片臺(tái)階化（按特定角度斜切并熱處理）的首選單晶材料。
| 生長方法 | 火焰法 |
| 晶格常數(shù) | a=3.905Å |
| 熔點(diǎn)（℃） | 2080 |
| 密度 | 5.175（g/cm3） |
| 硬度 | 6（mohs） |
| 熱膨脹系數(shù)（/℃） | 9.4×10-6 |
| 介電常數(shù) | 300 |
| 化學(xué)穩(wěn)定性 | 在水中不溶解 |
| 正切損耗 | ~5×10-4（300k） ~3×10-4（77k） |
| 顏色及外觀 | 透明（根據(jù)退火狀態(tài)有時(shí)有輕微的棕色）無鸞晶 |
| 尺寸 |
10×3m、10×5m、10×10mm、15×15mm、20×15mm 可按照客戶需求，定制特殊方向和尺寸的基片 |
| 厚度 | 0.5mm、1.0mm |
| 拋光 | 單面或雙面 |
| 晶面定向精度 | ±0.5° |
| 邊緣定向精度 | 2°（特殊要求可達(dá)到1°以內(nèi)） |
| 取向 | <100>、<110>、<111>等 |
| 包裝 | 100級(jí)潔凈袋，1000級(jí)超凈室 |
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